Sealladh farsaing air foto-dhìonach
Tha photoresist, ris an canar cuideachd photoresist, a’ toirt iomradh air stuth film tana aig a bheil so-leaghadh ag atharrachadh nuair a bhios e fosgailte do sholas UV, gathan dealanach, gathan ian, ghathan-X, no rèididheachd eile.
Tha e air a dhèanamh suas de roisinn, inneal-tòiseachaidh foto, fuasglaiche, monomer, agus stuthan cur-ris eile (faic Clàr 1). Is iad roisinn dìon-foto agus inneal-tòiseachaidh foto na pàirtean as cudromaiche a bheir buaidh air coileanadh dìon-foto. Tha e air a chleachdadh mar chòmhdach an-aghaidh creimeadh rè a’ phròiseas fotolithografaidh.
Nuair a bhios uachdaran leth-chonnsachaidh gan giullachd, faodaidh foto-resist a tha roghnach gu h-iomchaidh an ìomhaigh a tha thu ag iarraidh a chruthachadh air an uachdar.
Clàr 1.
| Grìtheidean Photoresist | Coileanadh |
| Fuasglaiche | Bidh e a’ dèanamh photoresist leachtach agus luaineach, agus chan eil cha mhòr buaidh sam bith aige air feartan ceimigeach photoresist. |
| Tòiseadair-foto | Canar photosensitizer no photocuring ris cuideachd, agus is e am pàirt photosensitive ann an stuth photoresist a th’ ann. ’S e seòrsa de cho-thàth a th’ ann a dh’fhaodas lobhadh gu radicals saor no cationan agus ath-bheachdan ceangail-croise ceimigeach a thòiseachadh ann am monomers às deidh dhaibh lùth solas ultraviolet no faicsinneach de thonnan-fada sònraichte a ghabhail a-steach. |
| roisinn | Is e poileimeirean neo-ghnìomhach a th’ ann, agus bidh e ag obair mar cheanglaichean gus na diofar stuthan ann am foto-resist a chumail còmhla, a’ toirt dha na feartan meacanaigeach agus ceimigeach aige. |
| Monomer | Canar stuthan-caolachaidh gnìomhach riutha cuideachd, ’s e moileciuilean beaga a th’ annta anns a bheil buidhnean gnìomh poileimeireach agus ’s e todhar le cuideam moileciuil ìosal a th’ annta as urrainn pàirt a ghabhail ann an ath-bheachdan poileimeireach gus roisinn le cuideam moileciuil àrd a chruthachadh. |
| Stuth-cuideachaidh | Tha e air a chleachdadh gus smachd a chumail air feartan ceimigeach sònraichte photoresists. |
Tha foto-dhìonan air an seòrsachadh ann an dà phrìomh roinn stèidhichte air an ìomhaigh a chruthaicheas iad: deimhinneach agus àicheil. Rè a’ phròiseis foto-dhìon, às dèidh nochdadh agus leasachadh, bidh na pàirtean fosgailte den chòmhdach air an sgaoileadh, a’ fàgail na pàirtean gun nochdadh. Thathas den bheachd gur e foto-dhìon deimhinneach a th’ anns a’ chòmhdach seo. Ma dh’fhanas na pàirtean fosgailte fhad ‘s a tha na pàirtean gun nochdadh air an sgaoileadh, thathas den bheachd gur e foto-dhìon àicheil a th’ anns a’ chòmhdach. A rèir an stòr solais nochdaidh agus an stòr rèididheachd, tha foto-dhìonan air an seòrsachadh tuilleadh mar UV (a’ gabhail a-steach foto-dhìonan UV deimhinneach agus àicheil), foto-dhìonan UV domhainn (DUV), foto-dhìonan X-ghath, foto-dhìonan beam dealanach, agus foto-dhìonan beam ian.
Tha photoresist air a chleachdadh sa mhòr-chuid ann a bhith a’ giullachd phàtranan mìn ann am pannalan taisbeanaidh, cuairtean amalaichte, agus innealan leth-chonnsachaidh fa leth. Tha an teicneòlas cinneasachaidh air cùl photoresist iom-fhillte, le measgachadh farsaing de sheòrsan toraidh agus chomharrachaidhean. Tha saothrachadh chuairtean amalaichte gnìomhachas an eileagtronaig a’ cur riatanasan teann air an photoresist a thathar a’ cleachdadh.
Tha comas cinneasachaidh bliadhnail de 20,000 tunna aig Ever Ray, neach-dèanamh le 20 bliadhna de eòlas a tha gu sònraichte a’ dèanamh agus a’ leasachadh roisinn a ghabhas leigheas le solas, agus tha loidhne thoraidhean coileanta aca, agus tha an comas toraidhean a ghnàthachadh. Ann an solas-fhulangas, tha roisinn 17501 aig Ever Ray mar am prìomh phàirt.
